超精密加工中的誤差分離
在超精密加工零件中，工件輪廓直線度誤差與溜板的直線運動誤差處于同一數(shù)量級(通常為亞微米量級)。電容、電感傳感器有很高的分辨率和測量精度，很適合于高精度測量。但這類傳感器測量的量程有限，所以用掃描法將位移測頭安裝在溜板上，沿工件的被測輪廓作直線運動，或者將傳感器固定，工件隨溜板一起運動，要想得到精確的工件輪廓直線度或溜板直線運動誤差，便需要采用誤差分離的辦法。
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